某半导造成制造业企业因晶圆家电清洗制作工序产生了含氨废污水,用水量200吨/天。废污海里除高锰酸盐指数外还富含氟化物和少量天价属,除理困难程度大。本地废气规范标准标准高锰酸盐指数<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废渣基本成分及来自
晶圆冲洗废水处理(具体因素):含化学需氧量200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀生产工序焦化废水:含微量分析铜、镍等高价属,pH值浮动大
CMP抛光焦化废水:含硅科粒及氟化物
补救新工艺工作流程
选取"药剂学积淀+膜破乳+折点氯化"结合生产工艺:
预净化处理
:加药系统CaCl2除氟,掌控pH在7.5-8.
反渗透膜设计
:除掉0.01μm之上颗粒剂物
反渗入果汁
:将氯离子原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 至1000mg/L以上内容
折点氯化
:明确控制氯添加量,将氯离子流量转化为离氮气
化合物互相交换
:保证高价属不合格
然后作用
氧化还原电位增强<3mg/L,氟化物<1mg/L
巨资属水分含量降到检查限
水循环率达75%
淤泥产生量避免40%