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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导电源芯片生产制作加工厂在晶圆制作加工流程中,应用硅烷参与硅本质生长的,废气排放洗滌塔引起高溶液浓度含硅废气。废气兼备pH振幅大(2-11)、硅含水量高的亮点,传统与现代补救办法易存在硅垢短路相关问题。 生产废水材料及來源 电镀废水具体含量为: 溶于性硅酸盐 :SiO₂含量达1000-1500mg/L 硫酸钠/氢氧化反应钠 :干洗塔酸性干洗液杂质 颗粒物硅 :纳米级级SiO₂电解质溶液 痕量砷 :材料沉淀物带往 办理施工工艺方法 科技创新进行"有级与+膜滤出+挥发心得"生产工艺: 1阶段结合 :用CaO调低pH至4-5,自动生成硅酸钙沉淀物,硅出掉率60%。 一级采和 :加Na₂CO₃将pH增强至9,进几步奠定剩余时间硅,串并联用镁剂除砷。 超滤膜控制系统 :0.02μm陶瓷图片膜筛选nm级硅顆粒,通量相对稳定在80LMH。 MVR减压蒸馏器 :浓缩提炼高盐废水处理,沉淀出Na₂SO₄副服务,水使用率超90%。 之后视觉效果 总硅从1500mg/L减少为5mg/L以上 砷含量从0.8mg/L下降0.01mg/L 平台无结渣正常运行高出2年 历年出售磷酸钠晶胞约800吨

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