某半导电源芯片生产制作加工厂在晶圆制作加工流程中,应用硅烷参与硅本质生长的,废气排放洗滌塔引起高溶液浓度含硅废气。废气兼备pH振幅大(2-11)、硅含水量高的亮点,传统与现代补救办法易存在硅垢短路相关问题。
生产废水材料及來源
电镀废水具体含量为:
溶于性硅酸盐
:SiO₂含量达1000-1500mg/L
硫酸钠/氢氧化反应钠
:干洗塔酸性干洗液杂质
颗粒物硅
:纳米级级SiO₂电解质溶液
痕量砷
:材料沉淀物带往
办理施工工艺方法
科技创新进行"有级与+膜滤出+挥发心得"生产工艺:
1阶段结合
:用CaO调低pH至4-5,自动生成硅酸钙沉淀物,硅出掉率60%。
一级采和
:加Na₂CO₃将pH增强至9,进几步奠定剩余时间硅,串并联用镁剂除砷。
超滤膜控制系统
:0.02μm陶瓷图片膜筛选nm级硅顆粒,通量相对稳定在80LMH。
MVR减压蒸馏器
:浓缩提炼高盐废水处理,沉淀出Na₂SO₄副服务,水使用率超90%。
之后视觉效果
总硅从1500mg/L减少为5mg/L以上
砷含量从0.8mg/L下降0.01mg/L
平台无结渣正常运行高出2年
历年出售磷酸钠晶胞约800吨