该厂为84英寸晶圆产量线配套工程的超软水系統，经常所产生含硅废水治疗方法150吨。废水治疗方法中虽无天价属，但硅含磷量高易积垢，且功率电阻率需提高18MΩ·cm就要回收。现有治疗技艺不了满足了新颁布法律的《电子器件工业企业水生态破坏物排污要求》（GB39731-2020）很大排污允许值。 生活污水的成分特殊性 包括环保问题物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、颗粒剂硅（粒度分布0.1-1μm） 特定标准 ：TOC<10μg/L，硼硫含量<5μg/L 水体质量因素 ：低导电率（<50μS/cm）但硅单质要素简化 操作工艺技术流程图 革新按照"梯级膜脱离+电去化合物"组装加工过程： 微滤预工作 ：1μm陶瓷制品膜短信拦截大颗粒肥料硅，通量持续80LMH 正离子相互交换硅胶粘合剂 ：D201大孔树酯选取性吸咐硅酸氧分子 三级RO模式 ：第一名段二手回提取率60%，二是段采取高脱硼膜电子器件 EDI电去正离子 ：功率硬度2A/m²，延续删去残存亚铁离子 紫外线杀菌的 ：254nm红外光谱线服用量40mJ/cm² 技术设备工作亮点 发掘专用的阻硅剂（无机胺类组合物），延长时间膜环境破坏生长期3倍 EDI传感器创新发展流道制定，硅剔除率的提升至99.8% 线下硅概述仪（测定使用范围0.1-500μg/L）构建精淮控住 作业举措 经第二方检侧： 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼份量从8μg/L高于0.3μg/L 装置收购 率从原40%增强至68% 膜拆换周期性增长至5年，年程序运行成本低缩减35%