该晶圆开发厂地处华东地地,重要加工8屏幕尺寸光电器件晶圆,平均工业废水的排放标准决定规定量约800吨。会因为加工流程中选择多盐酸完成晶圆蚀刻,以至于工业废自来水中氟化物酸度高达到200-300mg/L,远超国内的排放标准决定规定标准规定(10mg/L一下)。
污废水 化学成分及源
电镀废水最主要存在三关键点:
晶圆蚀刻工艺技术
:含高氨水浓度氟化物(HF)、硝酸钠及少量出天价属
电化学机械性抛光处理(CMP)废水处理工艺
:含纳米级级硅科粒、有机物络合剂
环保设备拆洗生产废水
:含异丙醇、挥发酚等生物碳物
清理工序具体步骤
运用"化学工业发展+混凝土发展+高度过滤水"三级考试整理程序:
3级加工
:添加氯化钙和氢氧化的钙,型成氟化钙沉淀自己,氟化物剔除率达85%
二次元补救
:添加图片PAC(汇聚氯化铝)和PAM(PP酰胺),消除胶体溶液态危害物
三类进行处理
:凭借多媒质进行过滤和生物炭溶解,喷水氟化物浓硫酸浓度稳定的在8mg/L下面
关键性机 比如:pH主动调控整体、斜管沉积池、板框带式压滤机(污泥处理脱水现象)。
终极目的
投资项目行驶一年监测技术数据报告提示 :
氟化物平均值有机废气浓度:7.2mg/L(不高于我国标准的)
COD删去率:92%
污水含水量率:≤65%
年回收公司氟化钙副护肤品约150吨,建立网络秸秆综合用用